MEMS陀螺在导引头上的应用

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发布时间：2020-05-14
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　　寻的制导导弹在整个战术导弹领域中占有重要地位，由于其自主性好、火控简单、制导精度高等优点，在空中发射的导弹中几乎全部采用寻的制导方式，在地空导弹武器系统中，也越来越多的采用寻的制导方式。而其中导引头是寻的制导方式的关键装置，是区别于指令制导式导弹的根本标志。
　　目前广泛应用的比例导引规律的制导方式中，导引头作为其中关键装置，要求导引头准确测量出弹目视线的转动角速度，以完成导弹的精确打击。而导引头通常采用高精度的速率陀螺来完成该任务。随着MEMS技术的不断完善，MEMS陀螺本着体积小、重量轻、成本低在弹载小型化导引头中占有重要的地位。

微机械MEMS是英文Micro Electro Mechanical systems的缩写，即微电子机械系统。它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元的微型系统。这种微电子机械系统不仅能够采集、处理与发送信息或指令，还能够按照所获取的信息自主地或根据外部的指令采取行动。它用微电子技术和微加工技术(包括硅体微加工、硅表面微加工、LIGA和晶片键合等技术)相结合的制造工艺，制造出各种性能优异、价格低廉、微型化的传感器、执行器、驱动器和微系统。

MEMS陀螺仪的重要参数包括：分辨率（Resolution）、零角速度输出（零位输出）、灵敏度（Sensitivity）和测量范围。这些参数是评判MEMS陀螺仪性能好坏的重要标志，同时也决定陀螺仪的应用环境。
分辨率是指陀螺仪能检测的最小角速度，该参数与零角速度输出其实是由陀螺仪的白噪声决定。这三个参数主要说明了该陀螺仪的内部性能和抗干扰能力。对使用者而言，灵敏度更具有实际的选择意义。测量范围是指陀螺仪能够测量的最大角速度。不同的应用场合对陀螺仪的各种性能指标有不同的要求。

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